生產(chǎn)中使用的冷卻水溫度與鍍膜線實際水溫存在差異，導(dǎo)致使用過程中靶材開裂。一般來說，輕微的裂紋不會對鍍膜生產(chǎn)產(chǎn)生很大的影響。但當靶材有明顯裂紋時，電荷很容易集中在裂紋邊緣，導(dǎo)致靶材表面異常放電。放電會導(dǎo)致落渣、成膜異常、產(chǎn)品報廢增加。

       裂紋形成通常發(fā)生在陶瓷濺射靶材（如氧化物、碳化物、氮化物等）和脆性材料濺射靶材（如鉻、銻、鉍等）中。在本文中，我們將簡要討論為什么濺射靶材會開裂以及可以采取哪些預(yù)防措施來避免這種情況？

       陶瓷或脆性材料目標始終包含固有應(yīng)力。這些內(nèi)應(yīng)力是在靶材制造過程中產(chǎn)生的。此外，這些應(yīng)力不能通過退火過程完全消除，因為它是這些材料的固有特性。在濺射過程中，轟擊的氣體離子將其動量傳遞給目標原子，為它們提供足夠的能量來脫離晶格。這種放熱動量傳遞增加了目標的溫度，在原子水平上可能達到1，000，000攝氏度。這些熱沖擊將靶材中已經(jīng)存在的內(nèi)部應(yīng)力增加到許多倍。在這種情況下，如果不注意適當?shù)纳�熱，靶材可能會破裂�?/span>

       為了防止靶材開裂，重要的考慮因素是散熱。這需要水冷機制來去除靶材中不需要的熱能�？梢酝ㄟ^短時間內(nèi)提高功率給靶材帶來熱沖擊。此外，還可以將靶材粘合到背板上，這不僅為目標提供支撐，而且還促進靶材與水之間更好的熱交換。如果靶材開裂但粘合到背板上，它仍然可以毫無問題地使用。